1、無刷伺服電機(jī)驅(qū)動，保證設(shè)備穩(wěn)定可靠及潔凈度要求。
2、 迷宮式氮氣密封，腔內(nèi)與腔外隔離，無接觸式密封效果，確保工藝環(huán)境要求。
3、 采用PTFE 氣控閥組件，PVDF 管路及接頭。
4、采用316L 不銹鋼材質(zhì)，表面電解拋光處理。
5、沖洗，吹凈，吹干，烘干功能，利用高速旋轉(zhuǎn)離心力，把殘留附著化學(xué)試劑及顆粒塵埃甩除，
同時潔凈氮氣把殘留顆粒塵埃帶走，使產(chǎn)品表面潔凈干燥潔凈。
6、靜電消除功能，產(chǎn)品高速運動時會產(chǎn)生靜電，利用高壓除靜電裝置使產(chǎn)品表面達(dá)到中和狀態(tài)。
7、機(jī)械自復(fù)位功能，停機(jī)待機(jī)片盒朝上。
8、氮氣壓力，門密封狀態(tài)，片盒朝上等條件保護(hù)。
9、 控制單元獨立控制，獨立運行，操作簡單，維修方便。
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